硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高级的硅氢化合物。目前应用最多的是甲硅烷。一般把甲硅烷简称做硅烷。硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。 因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业， 用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层， 并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。硅烷的高科技应用还在不断出现, 包括用于制造先进陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成为许多新技术、新材料、新器件的基础。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而着称。硅烷有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量，决定了它是一种高危险性的气体。
管束式集装箱技术参数：
| 公称工作压力： | 16.6Mpa | 使用环境温度： | -40-60℃ |
| 盛装介质： | 硅烷siH4 | 设计温度范围： | -40-60℃ |
| 介质特性： | 易燃无毒 | 气密性试验压力： | 16.6Mpa |
| 空箱质量： | 17990kg | 气瓶数量： | 12瓶 |
| 最大允许充装量： | 4224kg | 总容积： | 13.2m3 |
| 额定质量： | 29800kg | 设计使用年限： | 20年 |
| 外形尺寸： | 6058*2438*1994mm | 允许堆码层数： | 7层 |
大容积钢质无缝气瓶技术参数：
| 气瓶型号： | TUBE1-559-1100-16.6-Ⅰ | 使用环境温度： | -40-60℃ |
| 公称工作压力： | 16.6Mpa | 最大允许充装量： | 352kg |
| 公称容积： | 1.1m3 | 瓶体材料： | 4130X/30CrMo |
| 水压试验压力： | 27.7Mpa | 气瓶规格（外径*壁厚*长度）： | φ558.8*13.7*5490mm |
1. 引言
硅烷槽车是用于运输硅烷的特殊车辆。硅烷是一种无色、易燃、有毒的液体，在半导体制造等领域有广泛的应用。为了确保硅烷的安全运输，硅烷槽车方案应当考虑车辆的设计、装载与卸载方案，以及安全措施等方面。
本文档将介绍硅烷槽车的设计要求、装载与卸载方案，以及安全措施等内容。
2. 硅烷槽车设计要求
硅烷槽车的设计要求主要包括以下几个方面：
2.1 容量要求
硅烷的运输量较大，因此硅烷槽车的容量要求较高。一辆标准的硅烷槽车的容量通常在1000-3000升之间，根据运输需求可进行调整。
2.2 材质要求
由于硅烷具有易燃、有毒的性质，硅烷槽车的材质应具备良好的防腐蚀、耐高温、耐腐蚀等特性。常见的硅烷槽车材料包括不锈钢和铝合金等。
2.3 车辆结构要求
硅烷槽车的结构应具备良好的密封性，以防止硅烷泄漏。车辆应配备合适的阀门和管道系统，以便进行装载与卸载操作。
2.4 车辆性能要求
硅烷槽车的性能要求包括动力性能、制动性能、悬挂性能等。车辆应具备良好的操控性与稳定性，以确保运输过程中的安全性。
3. 硅烷槽车装载与卸载方案
3.1 硅烷装载方案
硅烷的装载需要一定的特殊设备。在装载过程中，应按照以下步骤进行操作：
1.确保装载区域通风良好，并远离火源。
2.进行装载前的安全检查，确保硅烷槽车的密封性良好。
3.打开装载区域的阀门，并将硅烷转移到硅烷槽车中。
4.在装载过程中，应严格控制硅烷的流量，避免泄漏。
3.2 硅烷卸载方案
硅烷的卸载也需要特殊设备。在卸载过程中，应按照以下步骤进行操作：
5.确保卸载区域通风良好，并远离火源。
6.进行卸载前的安全检查，确保硅烷槽车的密封性良好。
7.打开卸载区域的阀门，并将硅烷从硅烷槽车中转移出来。
8.在卸载过程中，应严格控制硅烷的流量，避免泄漏。
4. 硅烷槽车安全措施
为了确保硅烷槽车的安全运输，应采取以下安全措施：
9.硅烷槽车应配备防火、防爆设备，以防止硅烷泄露引发火灾或爆炸事故。
10.硅烷槽车应定期进行安全检查和维护，确保车辆的密封性和性能良好。
11.运输过程中，应避免与易燃物质和氧化剂等物质接触，以免发生危险事故。
12.司机应具备相关的专业知识和驾驶技能，能够应对紧急情况。
5. 结论
硅烷槽车方案的设计要求包括容量、材质、车辆结构和性能等方面。在装载与卸载方案上，需要注意硅烷的特殊性，采取防止泄漏的措施。为确保硅烷槽车的安全运输，应采取适当的安全措施，包括防火、防爆设备的配备和定期维护等。
通过合理的设计和操作，硅烷槽车可以安全、高效地运输硅烷，为半导体制造等领域的发展提供了重要支持。
管束车技术要求：
1、本设备为仅适用于公路铁路和水路联运的特种设备，按Q/SVSK 9-2020《高压液化气体管束式集装箱》的要求设计、制造、检验和验收 ，并按TSG R0005-2011《移动式压力容器安全技术监察规程》的监察。
2、大容积钢质无缝气瓶(TUBE 1-559-1100-16.6-Ⅰ)按GB/T 33145-2016《大容积钢质无缝气瓶》的要求进行设计、制造、检验和验收，并接受TSG R0006-2014《气瓶安全技术监察规程》监察；端塞材料的化学成分和力学性能应符合相应锻件材料标准的规定。
3、集装箱框架外廓外寸应按图要求且须符合GB/T 1413-2008《系列1 集装箱分类、尺寸和频定质量》的规定。
4、角件须符合GB/T 1835-2006《系列1 集装箱 角件》标准的规定；角件定位尺寸按GB/T 1413-2008标准要求。
5、角件与框架方管各连接焊缝表面应无肉眼可见的气孔、咬边、裂纹等陷。图中未注角焊缝焊脚高度取较薄者厚度，未注焊缝的焊接方式为连续焊。焊接接头尺寸应将合HG/T 20583-2011标准的要求。钢瓶体上不得施焊。
6、管路系统用不锈钢无缝钢管材料应符合ASME SA-213规定。
7、管路系统的焊接工艺评定应符合NB/T 47014-2011《承压设备焊接工艺评定》，管路焊接接头的焊接工艺应符合NB/T 47015-2011《压力容器焊接规程》的规定。
8、管路系统焊接后对接接头应进行100%射线检测，合格级别满足企标要求；角接接头进行100%渗透检测合格级别满足企标要求。
9、管路系统经无损检测合格后应进行气压试验，试验介质为高纯度氮气（纯度≥99.99%）试验压力27.7Mpa。
10、组装前，钢瓶应逐只进行水压式验，试验压力加27.7Mpa，水压试验合格后气战内部应烘干。合格后气瓶内壁应进行研磨处理，处理后内表面质量满足企标或符合客户订货技术协议的要求。
11、组装后应进行尺寸和外观检验，合格后进行整体气密性试验，试验介质为10%He与90%N2的混合气，试验压力为16.6Mpa，保压时间30分钟，无泄漏为合格。
12、气密性试验合格后应进行氢质谱检漏，漏率不大于1.0×10-7Pa·m3/L为合格。
13、检验合格后应进行抽真空处理，处理后的真空度<2x10-2mbar。
14、抽真空后充入0.1~0.3MPa高纯度氮气进行保护，并检测含水量不大于1PPMv为合格成符合客户订货技术协议要求。
15、产品外表面应涂防锈底漆和灰色聚氨脂面漆，总漆膜厚度不小于240μm。
注：装卸口中心距离底角件下底面尺寸260mm。
