| 气体名称 | 材料：不锈钢 | 材料：黄铜 | 材料：氯丁橡胶 | 材料：氟橡胶 |
| 氩气(Ar)，二氧化碳(CO2)，氨气(He)，氢气(H2) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 甲烷(CH4)，氮气(N2)，乙烷(Ethane) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 乙稀(Ethylene)，乙快(C2H2)，空气(Air) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 笑气(N202)，硅甲烷(SiH4)，六氟化硫(SF6) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 丁烷(Butane)，环丙烷(Cyclopropane) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 异丁烷(Losbutane)，氪( Krypton )，氖气(Neon) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 丙烷(Propane)，氙气(Xe)，五氟氯乙烷(C2CIF5) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 砷化氢(Arsine)，砷烷(AsH3)，溴三氟甲烷(CBrF3) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 六氟乙烷(C2F6)，三氟化氮(NF3)，四氟甲烷(CF4) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 乙硅烷(SiF6) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 氯气(CI2)，氟气(F2)，六氟化钨(WF6) | ☉ | ● | ● | ○ |
| 氧气(O2)，一氧化碳(CO)，乙硼烷(Piborane) | ○ | ○ | ● | ○ |
| 氯化氢(HCL) | ☉ | ● | ○ | ○ |
| 硫化氢(H2S)，三氟化硼(BCI3)，一氧化氮(NO) | ○ | ● | ● | ○ |
| 磷化氢(PH3) | ○ | ● | ● | ○ |
| 二氧化硫(SO2) | ○ | ○ | ● | ● |
| 三氟化硼(BF3)，二氯硅烷(SiH2CI2) | ○ | ● | ● | ● |
| 四氯化硅(SiCI4) | ○ | ● | ● | ● |
| 氯甲烷(CH4Cl) | ○ | ● | ○ | ○ |
| 溴化氢(Hydrogen)，四氟化硅(SiF4) | ☉ | ☉ | ||
| 氨气(NH3) | ○ | ● | ○ | ● |
| ○代表适用 ●代表不适用 ☉代表有水份的情况不适用 | ||||
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