| 气体名称 | 材料:不锈钢 | 材料:黄铜 | 材料:氯丁橡胶 | 材料:氟橡胶 |
| 氩气(Ar),二氧化碳(CO2),氨气(He),氢气(H2) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 甲烷(CH4),氮气(N2),乙烷(Ethane) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 乙稀(Ethylene),乙快(C2H2),空气(Air) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 笑气(N202),硅甲烷(SiH4),六氟化硫(SF6) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 丁烷(Butane),环丙烷(Cyclopropane) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 异丁烷(Losbutane),氪( Krypton ),氖气(Neon) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 丙烷(Propane),氙气(Xe),五氟氯乙烷(C2CIF5) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 砷化氢(Arsine),砷烷(AsH3),溴三氟甲烷(CBrF3) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 六氟乙烷(C2F6),三氟化氮(NF3),四氟甲烷(CF4) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 乙硅烷(SiF6) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 氯气(CI2),氟气(F2),六氟化钨(WF6) | ☉ | ● | ● | ○ |
| 氧气(O2),一氧化碳(CO),乙硼烷(Piborane) | ○ | ○ | ● | ○ |
| 氯化氢(HCL) | ☉ | ● | ○ | ○ |
| 硫化氢(H2S),三氟化硼(BCI3),一氧化氮(NO) | ○ | ● | ● | ○ |
| 磷化氢(PH3) | ○ | ● | ● | ○ |
| 二氧化硫(SO2) | ○ | ○ | ● | ● |
| 三氟化硼(BF3),二氯硅烷(SiH2CI2) | ○ | ● | ● | ● |
| 四氯化硅(SiCI4) | ○ | ● | ● | ● |
| 氯甲烷(CH4Cl) | ○ | ● | ○ | ○ |
| 溴化氢(Hydrogen),四氟化硅(SiF4) | ☉ | ☉ | ||
| 氨气(NH3) | ○ | ● | ○ | ● |
| ○代表适用 ●代表不适用 ☉代表有水份的情况不适用 | ||||
相关文章
阻火器的PV压敏关断功能和TV热敏关断功能
阻火器是一种用于阻止火焰在气体管路前沿扩散的安全装置,通常安装在输送可燃气体的管道中或者通风的槽罐上。其核心功能是防止外部火焰窜入存有易燃易爆气体的设备、管道内,或阻止火焰在设备、管道间蔓延。PV压敏...
实验室气体汇流排性能及参数
高纯特气供气管路系统,是将高纯气体、特种气体、电子气体等多种瓶装气体汇集到高压管路中,进行减压、稳压并输送到用气终端的整体供气设备,主要由气体钢瓶、不锈钢减压器、高压防爆软管、高压截止阀、自动切换装置...
实验室气路设计及系统安装
实验室气路安装设计1、实验室常用气体为氢气、压缩空气和氮气。有条件的应远离工作点设计具有防爆性能的气体存放室,没有条件的需设置带有全自动报警功能的气瓶安全柜存放。由气瓶室引入的气路,主要的控制阀门和减...
高纯气体供气系统
一、高纯气体系统的种类1、简单供气系统简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单,通常不需要连续性供气,对气体供应系统的投资预算低。2、...
实验室气路供气管路敷设要求
1、供气管路宜架空敷设,不宜在地面或地下敷设。供气管路应避开高温、易受机械损伤、腐蚀、强烈振动及工艺管路或设备物料排放口等不安全环境。2、供气管路应避免U形配管,在管网干线的最低点应设排污阀。排污阀宜...
汇流排为什么需要排放和吹扫
很多人对汇流排并不是很了解,不知道什么时候带排放,什么时候带吹扫,今天就和大家简单介绍一下。我们先看下面的图: 更换钢瓶前,金属软管里面的压力如何排放?如果不排放...









