气体名称 | 材料:不锈钢 | 材料:黄铜 | 材料:氯丁橡胶 | 材料:氟橡胶 |
氩气(Ar),二氧化碳(CO2),氨气(He),氢气(H2) | ○ | ○ | ○ | ○ |
甲烷(CH4),氮气(N2),乙烷(Ethane) | ○ | ○ | ○ | ○ |
乙稀(Ethylene),乙快(C2H2),空气(Air) | ○ | ○ | ○ | ○ |
笑气(N202),硅甲烷(SiH4),六氟化硫(SF6) | ○ | ○ | ○ | ○ |
丁烷(Butane),环丙烷(Cyclopropane) | ○ | ○ | ○ | ○ |
异丁烷(Losbutane),氪( Krypton ),氖气(Neon) | ○ | ○ | ○ | ○ |
丙烷(Propane),氙气(Xe),五氟氯乙烷(C2CIF5) | ○ | ○ | ○ | ○ |
砷化氢(Arsine),砷烷(AsH3),溴三氟甲烷(CBrF3) | ○ | ○ | ○ | ○ |
六氟乙烷(C2F6),三氟化氮(NF3),四氟甲烷(CF4) | ○ | ○ | ○ | ○ |
乙硅烷(SiF6) | ○ | ○ | ○ | ○ |
氯气(CI2),氟气(F2),六氟化钨(WF6) | ☉ | ● | ● | ○ |
氧气(O2),一氧化碳(CO),乙硼烷(Piborane) | ○ | ○ | ● | ○ |
氯化氢(HCL) | ☉ | ● | ○ | ○ |
硫化氢(H2S),三氟化硼(BCI3),一氧化氮(NO) | ○ | ● | ● | ○ |
磷化氢(PH3) | ○ | ● | ● | ○ |
二氧化硫(SO2) | ○ | ○ | ● | ● |
三氟化硼(BF3),二氯硅烷(SiH2CI2) | ○ | ● | ● | ● |
四氯化硅(SiCI4) | ○ | ● | ● | ● |
氯甲烷(CH4Cl) | ○ | ● | ○ | ○ |
溴化氢(Hydrogen),四氟化硅(SiF4) | ☉ | ☉ | ||
氨气(NH3) | ○ | ● | ○ | ● |
○代表适用 ●代表不适用 ☉代表有水份的情况不适用 |
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