产品知识

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各种气体介质与材料兼容性一览表

lancker4个月前 (01-17)产品知识317
气体名称材料:不锈钢材料:黄铜材料:氯丁橡胶材料:氟橡胶
氩气(Ar),二氧化碳(CO2),氨气(He),氢气(H2)
甲烷(CH4),氮气(N2),乙烷(Ethane)
乙稀(Ethylene),乙快(C2H2),空气(Air)
笑气(N202),硅甲烷(SiH4),六氟化硫(SF6)
丁烷(Butane),环丙烷(Cyclopropane)
异丁烷(Losbutane),氪( Krypton ),氖气(Neon)
丙烷(Propane),氙气(Xe),五氟氯乙烷(C2CIF5)
砷化氢(Arsine),砷烷(AsH3),溴三氟甲烷(CBrF3)
六氟乙烷(C2F6),三氟化氮(NF3),四氟甲烷(CF4)
乙硅烷(SiF6)
氯气(CI2),氟气(F2),六氟化钨(WF6)
氧气(O2),一氧化碳(CO),乙硼烷(Piborane)
氯化氢(HCL)
硫化氢(H2S),三氟化硼(BCI3),一氧化氮(NO)
磷化氢(PH3)
二氧化硫(SO2)
三氟化硼(BF3),二氯硅烷(SiH2CI2)
四氯化硅(SiCI4)
氯甲烷(CH4Cl)
溴化氢(Hydrogen),四氟化硅(SiF4)

氨气(NH3)
○代表适用    ●代表不适用    代表有水份的情况不适用

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