一、高纯气体系统的种类1、简单供气系统简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单，通常不需要连续性供气，对气体供应系统的投资预算低。...
1、供气管路宜架空敷设，不宜在地面或地下敷设。供气管路应避开高温、易受机械损伤、腐蚀、强烈振动及工艺管路或设备物料排放口等不安全环境。2、供气管路应避免U形配管，在管网干线的最低点应设排污阀。排污阀宜...
实验室气路指实验室气体管道工程，即从气瓶至仪器终端之间连接的管线。实验室气体管路安装是从气源钢瓶站(气瓶间)总阀门到各相关的仪器间工作台上各个气体阀门,一系统的工艺流程。气路系统主要应用于处理高纯度气...
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